вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)

 

вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с автоматической загрузкой подложек и занимает меньше места; необходимо предотвращать деформацию закрепленных горизонтально подложек; предназначена для групповой обработки.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• furnace vertical