вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)

вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)

 

вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с автоматической загрузкой подложек и занимает меньше места; необходимо предотвращать деформацию закрепленных горизонтально подложек; предназначена для групповой обработки.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • furnace vertical


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Поможем написать реферат

Смотреть что такое "вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)" в других словарях:

  • горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах) — Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой… …   Справочник технического переводчика


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»